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光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組故障原因與排除

 更新時(shí)間:2021-03-24 點(diǎn)擊量:2520

  光刻機(jī)低溫冷水機(jī)組操作者可對(duì)設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中的相關(guān)故障以及解決辦法做一定的了解,以便更好的使用光刻機(jī)低溫冷水機(jī)組,那么其故障原因是怎么樣的呢?

 光刻機(jī)用低溫冷水機(jī)組

  1、制冷劑泄漏:

  系統(tǒng)中制冷劑泄漏后制冷量不足,吸、排氣壓力低,蒸發(fā)器不掛霜或掛角少量的浮霜,若調(diào)大膨脹閥孔,吸氣壓力仍無(wú)大變化,停機(jī)后系統(tǒng)內(nèi)平衡壓力一般低于相同環(huán)境溫度所對(duì)應(yīng)的飽和壓力。

  排除方法:制冷劑泄漏后不能急于向系統(tǒng)內(nèi)充灌制冷劑,而應(yīng)立即查找滲漏點(diǎn),經(jīng)修復(fù)后在填充制冷劑。

  2、維修后充灌制冷劑過(guò)多:

  維修后的制冷系統(tǒng)中充灌的制冷劑量超過(guò)系統(tǒng)的容量,制冷劑就會(huì)占去冷凝器一定的容積,減少散熱面積,使其制冷效果下降,出現(xiàn)吸、排氣壓力普遍高于正常的壓力值,蒸發(fā)器結(jié)霜不實(shí),光刻機(jī)低溫冷水機(jī)組降溫慢。

  排除方法:按操作程序,須停機(jī)幾分鐘后在高壓截止閥處放出多余的制冷劑,此時(shí)也能將系統(tǒng)中的殘余空氣一并放出。

  3、制冷系統(tǒng)內(nèi)有空氣:

  空氣在制冷系統(tǒng)中會(huì)使制冷效率降低,突出的現(xiàn)象時(shí)吸、排氣壓力升高(但排氣壓力還未超出額定值),壓縮機(jī)出口至冷凝器處溫度明顯增高,由于系統(tǒng)內(nèi)有空氣,排氣壓力、排氣溫度都升高。

  排除方法:可以在停機(jī)后幾分鐘后,連續(xù)幾次從高壓截止閥放出空氣,還可以根據(jù)實(shí)際情況適當(dāng)充灌一些制冷劑。

  4、蒸發(fā)器表面結(jié)霜過(guò)厚:

  長(zhǎng)期使用的冷庫(kù)蒸發(fā)器要定時(shí)化霜,如不化霜,蒸發(fā)器管路上霜層越積越厚,當(dāng)把整個(gè)管路包住成透明冰層時(shí),將嚴(yán)重影響傳熱,致使光刻機(jī)低溫冷水機(jī)組溫度降不到要求的范圍內(nèi)。

  排除方法:停機(jī)化霜,切勿用鐵器、木棒等敲擊霜層,以防損壞蒸發(fā)器管路。

  5、蒸發(fā)器管路中有冷凍油:

  在制冷循環(huán)過(guò)程中,有些冷凍油殘留在蒸發(fā)器管路內(nèi),經(jīng)過(guò)較長(zhǎng)時(shí)間的使用,蒸發(fā)器內(nèi)殘留油較多時(shí),會(huì)嚴(yán)重影響其傳熱效果,出現(xiàn)制冷差的現(xiàn)象。

  排除方法:清除蒸發(fā)器內(nèi)的冷凍油。將蒸發(fā)器拆下來(lái),進(jìn)行吹洗后再烘干。

  光刻機(jī)低溫冷水機(jī)組在發(fā)生液擊故障之后,操作者或者使用人如不能及時(shí)解決,請(qǐng)聯(lián)系廠家進(jìn)行解決。

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