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簡要描述：元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測試和其他環(huán)境測試模擬。光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
產(chǎn)品型號：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2024-01-07訪 問 量：2421| 品牌 | LNEYA/無錫冠亞 | 冷卻方式 | 風冷式 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應用領域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設備內(nèi)部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
光刻機用低溫冷水機組故障原因與排除
光刻機用低溫冷水機組操作者可對設備運行過程中的相關故障以及解決辦法做一定的了解，以便更好的使用光刻機用低溫冷水機組，那么其故障原因是怎么樣的呢？
1、制冷劑泄漏：
系統(tǒng)中制冷劑泄漏后制冷量不足，吸、排氣壓力低，蒸發(fā)器不掛霜或掛角少量的浮霜，若調(diào)大膨脹閥孔，吸氣壓力仍無大變化，停機后系統(tǒng)內(nèi)平衡壓力一般低于相同環(huán)境溫度所對應的飽和壓力。
排除方法：制冷劑泄漏后不能急于向系統(tǒng)內(nèi)充灌制冷劑，而應立即查找滲漏點，經(jīng)修復后在填充制冷劑。
2、維修后充灌制冷劑過多：
維修后的制冷系統(tǒng)中充灌的制冷劑量超過系統(tǒng)的容量，制冷劑就會占去冷凝器一定的容積，減少散熱面積，使其制冷效果下降，出現(xiàn)吸、排氣壓力普遍高于正常的壓力值，蒸發(fā)器結霜不實，光刻機用低溫冷水機組降溫慢。
排除方法：按操作程序，須停機幾分鐘后在高壓截止閥處放出多余的制冷劑，此時也能將系統(tǒng)中的殘余空氣一并放出。
3、制冷系統(tǒng)內(nèi)有空氣：
空氣在制冷系統(tǒng)中會使制冷效率降低，突出的現(xiàn)象時吸、排氣壓力升高（但排氣壓力還未超出額定值），壓縮機出口至冷凝器處溫度明顯增高，由于系統(tǒng)內(nèi)有空氣，排氣壓力、排氣溫度都升高。
排除方法：可以在停機后幾分鐘后，連續(xù)幾次從高壓截止閥放出空氣，還可以根據(jù)實際情況適當充灌一些制冷劑。
4、蒸發(fā)器表面結霜過厚：
長期使用的冷庫蒸發(fā)器要定時化霜，如不化霜，蒸發(fā)器管路上霜層越積越厚，當把整個管路包住成透明冰層時，將嚴重影響傳熱，致使光刻機用低溫冷水機組溫度降不到要求的范圍內(nèi)。
排除方法：停機化霜，切勿用鐵器、木棒等敲擊霜層，以防損壞蒸發(fā)器管路。
5、蒸發(fā)器管路中有冷凍油：
在制冷循環(huán)過程中，有些冷凍油殘留在蒸發(fā)器管路內(nèi)，經(jīng)過較長時間的使用，蒸發(fā)器內(nèi)殘留油較多時，會嚴重影響其傳熱效果，出現(xiàn)制冷差的現(xiàn)象。
排除方法：清除蒸發(fā)器內(nèi)的冷凍油。將蒸發(fā)器拆下來，進行吹洗后再烘干。
光刻機用低溫冷水機組在發(fā)生液擊故障之后，操作者或者使用人如不能及時解決，請聯(lián)系廠家進行解決。
